如今，國內(nèi)在建的LTPS面板產(chǎn)線有17條，不過美國和日本公司長期壟斷了關(guān)鍵材料LTPS工藝制程用玻璃基板成套生產(chǎn)技術(shù)，致使國內(nèi)面板企業(yè)所需的LTPS工藝制程用玻璃基板全部依賴進(jìn)口。今年中美貿(mào)易爭端加劇，LTPS工藝制程用玻璃基板生產(chǎn)技術(shù)國產(chǎn)化的缺失威脅到了國家顯示行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的安全。東旭光電在此時實(shí)現(xiàn)了LTPS工藝制程用高溫玻璃基板已在蕪湖生產(chǎn)基地批量生產(chǎn)，開創(chuàng)了高端電子玻璃品種國產(chǎn)化新紀(jì)元，對于國產(chǎn)顯示行業(yè)來說是一個較大的進(jìn)步。
一、LTPS相關(guān)知識及市場前景
低溫多晶硅（Low Temperature Poly-silico，簡稱LTPS）顯示技術(shù)是新一代薄膜晶體管顯示技術(shù)，與傳統(tǒng)非晶硅技術(shù)的最大差異在于反應(yīng)速度更快，且具有高亮度、高分辨率與低耗電量等優(yōu)點(diǎn)，是高性能LCD和AOLED面板的最成熟支撐技術(shù)，主要應(yīng)用于高清晰、低功耗、窄邊框高端屏幕制造，擁有可觀的經(jīng)濟(jì)效益。
隨著平面顯示技術(shù)的快速發(fā)展，中國LTPS面板產(chǎn)業(yè)在2015年之后步入快車道，國內(nèi)建成和在建LTPS面板生產(chǎn)線總計17條，涵蓋G4.5~G6面板規(guī)格，其中以G6為主，總投資達(dá)4000億元人民幣，由此所帶動的LTPS工藝制程用基板玻璃市場需求量日益增大，每年將需求4000萬平方米。伴隨著5G+時代的到來，LTPS工藝制程用玻璃基板的巨大市場空間日益顯現(xiàn)。
二、LTPS工藝制程用玻璃基板技術(shù)難點(diǎn)
盡管國內(nèi)LTPS顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼，但是作為上游關(guān)鍵材料——LTPS工藝制程用玻璃基板由于技術(shù)壁壘和專利封鎖，當(dāng)前全部依賴于美國康寧和日本旭硝子供給，為國家顯示行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈安全帶來嚴(yán)重威脅。
LTPS器件晶化工藝的熱處理溫度較a-Si面板制程大幅提高，對玻璃基板的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性要求極高。相關(guān)產(chǎn)品遲遲無法國產(chǎn)化的難點(diǎn)主要在于：一是技術(shù)研發(fā)，產(chǎn)品要求有良好的化學(xué)穩(wěn)定性、機(jī)械穩(wěn)定性、低熱膨脹系數(shù)、低再熱收縮率和低缺陷密度，技術(shù)上就需要大流量、高凈面、超薄寬板幅及高平整度的實(shí)現(xiàn)；二是工藝挑戰(zhàn)，為保障裝備在長時間、高溫度、多相條件下的可靠性和穩(wěn)定性，對制程工藝提出了全新的挑戰(zhàn)；三是硬件缺失，國外企業(yè)的熱端關(guān)鍵材料、生產(chǎn)裝備一直被嚴(yán)密封鎖。
三、東旭光電技術(shù)突破及LTPS工藝制程用玻璃基板量產(chǎn)
為扭轉(zhuǎn)上述局面，東旭光電技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊經(jīng)過多年耕耘，潛心鉆研LTPS工藝制程用玻璃基板整套生產(chǎn)工藝和裝備制造技術(shù)，經(jīng)歷無數(shù)次的探索、驗(yàn)證、失敗、優(yōu)化，系統(tǒng)研究配方、熔制、澄清、成型等關(guān)鍵技術(shù)和裝備，創(chuàng)新性地攻克了LTPS工藝制程用玻璃基板生產(chǎn)工藝技術(shù)、關(guān)鍵材料、生產(chǎn)裝備等方面技術(shù)難題，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的全套技術(shù)和裝備。
東旭光電LTPS工藝制程用玻璃基板量產(chǎn)打破了國外企業(yè)在LTPS基板領(lǐng)域的技術(shù)壟斷，標(biāo)志著東旭光電成功實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品轉(zhuǎn)型升級、更新?lián)Q代，也標(biāo)志著中國在又一關(guān)鍵顯示材料生產(chǎn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)突破。在中美貿(mào)易爭端背景下，東旭光電“G6(兼容G5.5)LTPS玻璃基板成套技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的量產(chǎn)填補(bǔ)了國內(nèi)空白，對我國平板顯示玻璃基板制造業(yè)的發(fā)展，以及產(chǎn)業(yè)鏈的完善具有不可估量的作用。LTPS工藝制程用玻璃基板實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代，有望大幅降低本土面板企業(yè)的采購成本，同時增強(qiáng)我國在相關(guān)領(lǐng)域的議價能力，帶來的隱性降本金額每年達(dá)億元以上，對維護(hù)產(chǎn)業(yè)獨(dú)立性、推動行業(yè)發(fā)展作用顯著。2020年6月，該項(xiàng)目榮獲安徽省科技進(jìn)步獎一等獎。
結(jié)語
東旭光電有限公司LTPS工藝的基板玻璃成功量產(chǎn)和銷售在短時間內(nèi)取得了歷史性突破。這是東旭光電發(fā)展民族產(chǎn)業(yè)的堅實(shí)步驟，是實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)升級的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，是深耕光電產(chǎn)業(yè)的重要成果。這也標(biāo)志著東旭光電研發(fā)實(shí)力的進(jìn)一步提高，將極大地鼓舞東旭光電員工對股東和客戶的信心。
未來，東旭光電將繼續(xù)發(fā)揮現(xiàn)有優(yōu)勢，加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)協(xié)作，促進(jìn)技術(shù)創(chuàng)新，加快戰(zhàn)略升級，擴(kuò)大智能制造產(chǎn)業(yè)，將東旭光電打造成為領(lǐng)先的智能高端制造業(yè)中國企業(yè)。
